臺式薄膜制造多功能性快速涂布機
臺式薄膜制造多功能性快速涂布機

1. 大型基材全涂層濺射：SC-708系列非常適合在大型基材上進行薄膜制造，能夠實現全面的涂層覆蓋。
2. 多種靶材尺寸：提供多種靶材尺寸，例如4英寸、5英寸、6英寸、7英寸和8英寸，滿足不同尺寸基材的濺射需求。
3. 前開門設計：采用前開門式設計，無需提升鐘罩，操作更加便捷。
4. 多功能性：不僅適用于電極膜和反射膜的涂層，還可用于PDMS的表面處理。
5. 涂布模式/蝕刻模式：配備涂布模式和蝕刻模式，增加了設備的多功能性。

技術參數

• 靶材尺寸：1英寸，例如4'/5'/6'/7'/8'。
• 涂布模式：支持多種涂布模式，適用于不同的涂層需求。

應用

• 電極膜和反射膜涂層：可用于制備高質量的電極膜和反射膜。
• PDMS表面處理：支持PDMS的表面處理，適用于多種材料的薄膜制造。

1. 大型基材全涂層濺射：SC-708系列非常適合在大型基材上進行薄膜制造，能夠實現全面的涂層覆蓋。
2. 多種靶材尺寸：提供多種靶材尺寸，例如4英寸、5英寸、6英寸、7英寸和8英寸，滿足不同尺寸基材的濺射需求

   。
3. 前開門設計：采用前開門式設計，無需提升鐘罩，操作更加便捷

   。
4. 多功能性：不僅適用于電極膜和反射膜的涂層，還可用于PDMS的表面處理

   。
5. 涂布模式/蝕刻模式：配備涂布模式和蝕刻模式，增加了設備的多功能性。

技術參數

• 靶材尺寸：1英寸，例如4'/5'/6'/7'/8'

  。
• 涂布模式：支持多種涂布模式，適用于不同的涂層需求

  。

應用

• 電極膜和反射膜涂層：可用于制備高質量的電極膜和反射膜

  。
• PDMS表面處理：支持PDMS的表面處理，適用于多種材料的薄膜制造

  。