超小型的濺射裝置涂布機用于制備導電薄膜

超小型的濺射裝置涂布機用于制備導電薄膜

特點

• 小型化設計：作為直流濺射類設備中的小型機，SC-701MC具有超緊湊的機身尺寸，便于實驗室和小規模生產中使用。
• 全自動操作：從排氣到涂層，再到進入大氣，整個過程都是全自動的，減少了人工操作的復雜性和誤差。
• 磁控管陰極：采用磁控管陰極，有助于減輕離子損傷，從而生產出高質量的濺射薄膜。
• 膜厚控制：配備預設方式和數字顯示膜厚監視器，可以精確控制膜厚。
• 易于操作：專用的試料臺和靶材臺，可以方便地調整靶材與基板之間的距離。
• 適用范圍廣：適用于各種電子元器件的電極膜制備、反射薄膜制備等。

技術參數

應用

• 各種電子元器件的電極膜制備。
• 用于制造反射薄膜等的應用。

特點

• 小型化設計：作為直流濺射類設備中的小型機，SC-701MC具有超緊湊的機身尺寸，便于實驗室和小規模生產中使用

  。
• 全自動操作：從排氣到涂層，再到進入大氣，整個過程都是全自動的，減少了人工操作的復雜性和誤差

  。
• 磁控管陰極：采用磁控管陰極，有助于減輕離子損傷，從而生產出高質量的濺射薄膜

  。
• 膜厚控制：配備預設方式和數字顯示膜厚監視器，可以精確控制膜厚。
• 易于操作：專用的試料臺和靶材臺，可以方便地調整靶材與基板之間的距離

  。
• 適用范圍廣：適用于各種電子元器件的電極膜制備、反射薄膜制備等

  。

技術參數

應用

• 各種電子元器件的電極膜制備。
• 用于制造反射薄膜等的應用。