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產品資料
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高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計

產品名稱: 高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計
產品型號: F71
產品特點: 高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計
半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計 的詳細介紹

高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計

高精度高速晶圓搬運磁場測量特斯拉計磁強計

半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產品定位

  • 半導體制造應用:離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運
  • 臺式高斯計/特斯拉計:非接觸磁場測量,0.1 mG – 35 T,臺式 2.1 kg
  • F71 系列:0.1 mG – 35 T,0.01 % 精度,1 MHz 采樣,5 年壽命
半導體制造應用 · 臺式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產品定位

  • 半導體制造應用:離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運
  • 臺式高斯計/特斯拉計:非接觸磁場測量,0.1 mG – 35 T,臺式 2.1 kg
  • F71 系列:0.1 mG – 35 T,0.01 % 精度,1 MHz 采樣,5 年壽命

二、核心技術參數(F71)

表格
復制
項目參數
測量范圍0.1 mG – 35 T(全范圍)
精度0.01 %(0.01 % RDG)
分辨率0.1 mG(0.1 mG,16 bit)
采樣率1 MHz(1 MHz,實時)
頻率范圍DC – 50 kHz(AC 磁場)
溫度系數< 10 ppm/°C(-10 – 60 ℃)
探頭接口BNC + USB + RS-485(實時)
真空兼容≤ 1×10?? Pa(真空版探頭)
電源DC 24 V 2 A(含 100-240 V 適配器)
尺寸/重量200×150×45 mm,2.1 kg
壽命5 年(探頭 + 主機)

三、功能亮點

  1. 0.1 mG – 35 T 全范圍:從地球磁場到 35 T 全范圍,半導體磁場全覆蓋
  2. 0.01 % 超高精度:0.01 % RDG,磁場重復性 ≤ 0.01 mG
  3. 1 MHz 高速采樣:1 MHz 實時采樣,適合快速磁場變化
  4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容:真空腔直接安裝,無泄漏
  5. 2.1 kg 超輕:A5 底面積,可手提移動,實驗室即用


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