產品資料
半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
產品名稱: 半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
產品型號: TFH-1305
產品特點: 半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器特藥液 · 氟龍加熱 · 半導體級 · 真空/大氣雙模式0-180 °C · ±0.1 °C · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 1.9 kg · 5 年壽命
半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器 的詳細介紹
半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
半導體特藥液高清潔真空氟龍加熱器
特藥液 · 氟龍加熱 · 半導體級 · 真空/大氣雙模式
0-180 °C · ±0.1 °C · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 1.9 kg · 5 年壽命
一、產品定位
- 半導體領域特藥液：HF、H?SO?、H?PO?、NH?OH、有機溶劑
- 氟龍加熱器：PTFE + PFA，無顆粒，Class 100 兼容
- 真空/大氣雙模式：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 °C，±0.1 °C
- TFH-1305：0-180 °C，±0.1 °C，真空 ≤1×10?? Pa，5 年壽命
二、核心技術參數（TFH-1305）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 原理 | 氟龍加熱（PTFE + PFA） |
| 溫度范圍 | 0 – 180 °C（全范圍） |
| 精度 | ±0.1 °C（±0.1 °C，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內置泵） |
| 接觸材料 | PTFE + PFA（無顆粒，Class 100） |
| 真空接口 | NW16（可轉 NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（連續運行） |
三、功能亮點
- 0-180 °C 全溫度：氟龍加熱，全溫度精度 ±0.1 °C
- ±0.1 °C 超高精度：PID 閉環，±0.1 °C 超高精度
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
- PTFE + PFA 高清潔：無顆粒，Class 100 高清潔
- 1.9 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用
- 5 年壽命：氟龍無磨損，5 年免維護
四、典型應用系統
半導體特藥液加熱┌─ 真空腔體 ─┐│ │加熱← TFH-1305 ← 真空饋通 NW16│ │└─ 回大氣 ────┘- 真空度 ≤ 1×10?? Pa，0-180 °C，±0.1 °C 精度
- RS-485 實時輸出，PLC 閉環控制
五、實測數據（半導體驗證）
- 真空：1×10?? Pa，25 ℃
- TFH-1305：
- 溫度 180 °C（±0.1 °C）
- 真空度 ≤ 1×10?? Pa（全范圍）
- 壽命 5 年（連續運行）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| TFH-1305-STD | 標準型（NW16） |
| TFH-1305-PID | PID 控制器（可選） |
| TFH-1305-PT100 | PT100 傳感器（標準） |
| TFH-1305-RS485 | RS-485 輸出（標準） |
七、維護與可靠性
- 氟龍：5 年壽命，免維護
- PT100：年漂移 < 0.1 %，無需校準
一、產品定位
- 半導體領域特藥液：HF、H?SO?、H?PO?、NH?OH、有機溶劑
- 氟龍加熱器：PTFE + PFA，無顆粒，Class 100 兼容
- 真空/大氣雙模式：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 °C，±0.1 °C
- TFH-1305：0-180 °C，±0.1 °C，真空 ≤1×10?? Pa，5 年壽命
二、核心技術參數（TFH-1305）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 原理 | 氟龍加熱（PTFE + PFA） |
| 溫度范圍 | 0 – 180 °C（全范圍） |
| 精度 | ±0.1 °C（±0.1 °C，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內置泵） |
| 接觸材料 | PTFE + PFA（無顆粒，Class 100） |
| 真空接口 | NW16（可轉 NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（連續運行） |
三、功能亮點
- 0-180 °C 全溫度：氟龍加熱，全溫度精度 ±0.1 °C
- ±0.1 °C 超高精度：PID 閉環，±0.1 °C 超高精度
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
- PTFE + PFA 高清潔：無顆粒，Class 100 高清潔
- 1.9 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用
- 5 年壽命：氟龍無磨損，5 年免維護
四、典型應用系統
半導體特藥液加熱┌─ 真空腔體 ─┐│ │加熱← TFH-1305 ← 真空饋通 NW16│ │└─ 回大氣 ────┘- 真空度 ≤ 1×10?? Pa，0-180 °C，±0.1 °C 精度
- RS-485 實時輸出，PLC 閉環控制
五、實測數據（半導體驗證）
- 真空：1×10?? Pa，25 ℃
- TFH-1305：
- 溫度 180 °C（±0.1 °C）
- 真空度 ≤ 1×10?? Pa（全范圍）
- 壽命 5 年（連續運行）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| TFH-1305-STD | 標準型（NW16） |
| TFH-1305-PID | PID 控制器（可選） |
| TFH-1305-PT100 | PT100 傳感器（標準） |
| TFH-1305-RS485 | RS-485 輸出（標準） |
七、維護與可靠性
- 氟龍：5 年壽命，免維護
- PT100：年漂移 < 0.1 %，無需校準
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