產(chǎn)品資料
半導體制造測量用高真空工藝監(jiān)測真空計
產(chǎn)品名稱: 半導體制造測量用高真空工藝監(jiān)測真空計
產(chǎn)品型號: M-336MX
產(chǎn)品特點: 半導體制造測量用高真空工藝監(jiān)測真空計半導體制造裝置測量用 · 晶體離子 · 高真空 · 超高真空5×10?¹¹ – 1×10?² Pa · 晶振 + 離子 · 0.1 s 響應 · 重量 0.9 kg
半導體制造測量用高真空工藝監(jiān)測真空計 的詳細介紹
半導體制造測量用高真空工藝監(jiān)測真空計
半導體制造測量用高真空工藝監(jiān)測真空計
半導體制造裝置測量用 · 晶體離子 · 高真空 · 超高真空
5×10?11 – 1×10?2 Pa · 晶振 + 離子 · 0.1 s 響應 · 重量 0.9 kg
一、產(chǎn)品定位
- 半導體制造裝置測量用：MOCVD、干刻、離子注入、ALD、PVD
- 晶體離子真空計：晶振 + 離子復合，5×10?11 – 1×10?2 Pa
- 高真空/超高真空：10?11 Pa 級，適合超高真空工藝監(jiān)測
- M-336MX：晶振 + 離子復合，0.1 s 響應，重量 0.9 kg
二、核心技術(shù)參數(shù)（M-336MX）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 晶體離子復合（晶振 + 離子） |
| 測量范圍 | 5×10?11 – 1×10?2 Pa（5×10?11 – 1×10?2 Torr） |
| 精度 | ±10 %（5×10?11 – 1×10?2 Pa） |
| 響應時間 | 0.1 s（晶振） / 1 s（離子） |
| 輸出信號 | 0-10 V + RS-485 + 4-20 mA（實時） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 接觸材料 | 316L + 藍寶石（晶振） |
| 溫度范圍 | -10 – 80 ℃（無凝露） |
| 電源 | DC 24 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×80 mm，0.9 kg |
| 壽命 | 10 年（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- 5×10?11 Pa 超高真空：晶振 + 離子復合，10?11 Pa 級監(jiān)測
- 0.1 s 高速響應：晶振 0.1 s，適合快速真空變化
- 0.9 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機械負載
- ±10 % 高精度：±10 %（5×10?11 – 1×10?2 Pa），工藝重復性高
- 0-10 V + RS-485：實時真空度，可接 PLC / DCS
- 10 年壽命：晶振 + 離子復合，10 年免維護
四、典型應用系統(tǒng)
半導體超高真空工藝┌─ 超高真空腔體 ─┐│ │真空← M-336MX ← 真空饋通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 真空度 5×10?11 Pa，0.1 s 響應，工藝實時監(jiān)測
- RS-485 實時輸出，PLC 閉環(huán)控制
五、實測數(shù)據(jù)（半導體驗證）
- 真空腔：1×10?11 Pa，25 ℃
- M-336MX：
- 真空度 5×10?11 Pa（0.1 s）
- 精度 ±10 %（5×10?11 Pa）
- 壽命 10 年（連續(xù)運行）
半導體制造裝置測量用 · 晶體離子 · 高真空 · 超高真空
5×10?11 – 1×10?2 Pa · 晶振 + 離子 · 0.1 s 響應 · 重量 0.9 kg
一、產(chǎn)品定位
- 半導體制造裝置測量用：MOCVD、干刻、離子注入、ALD、PVD
- 晶體離子真空計：晶振 + 離子復合，5×10?11 – 1×10?2 Pa
- 高真空/超高真空：10?11 Pa 級，適合超高真空工藝監(jiān)測
- M-336MX：晶振 + 離子復合，0.1 s 響應，重量 0.9 kg
二、核心技術(shù)參數(shù)（M-336MX）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 晶體離子復合（晶振 + 離子） |
| 測量范圍 | 5×10?11 – 1×10?2 Pa（5×10?11 – 1×10?2 Torr） |
| 精度 | ±10 %（5×10?11 – 1×10?2 Pa） |
| 響應時間 | 0.1 s（晶振） / 1 s（離子） |
| 輸出信號 | 0-10 V + RS-485 + 4-20 mA（實時） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 接觸材料 | 316L + 藍寶石（晶振） |
| 溫度范圍 | -10 – 80 ℃（無凝露） |
| 電源 | DC 24 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×80 mm，0.9 kg |
| 壽命 | 10 年（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- 5×10?11 Pa 超高真空：晶振 + 離子復合，10?11 Pa 級監(jiān)測
- 0.1 s 高速響應：晶振 0.1 s，適合快速真空變化
- 0.9 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機械負載
- ±10 % 高精度：±10 %（5×10?11 – 1×10?2 Pa），工藝重復性高
- 0-10 V + RS-485：實時真空度，可接 PLC / DCS
- 10 年壽命：晶振 + 離子復合，10 年免維護
四、典型應用系統(tǒng)
半導體超高真空工藝┌─ 超高真空腔體 ─┐│ │真空← M-336MX ← 真空饋通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 真空度 5×10?11 Pa，0.1 s 響應，工藝實時監(jiān)測
- RS-485 實時輸出，PLC 閉環(huán)控制
五、實測數(shù)據(jù)（半導體驗證）
- 真空腔：1×10?11 Pa，25 ℃
- M-336MX：
- 真空度 5×10?11 Pa（0.1 s）
- 精度 ±10 %（5×10?11 Pa）
- 壽命 10 年（連續(xù)運行）
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品目錄
-
儀器儀表
- 噪聲計
- 深度計
- 記錄儀
- 記錄器
- 溫度儀
- 氣體檢測儀
- 熱電偶
- 粉塵儀
- 磁通計
- 角度計
- 加振器
- 探傷儀
- 氧氣計
- 計量泵
- 尺子測量
- 測量儀
- 密度計
- 馬弗爐
- 恒溫槽
- 壓縮機
- 離心泵
- 螺桿泵
- 葉片泵
- 柱塞泵
- 蠕動泵
- 定量泵
- 隔膜泵
- 酸堿度計
- 濁度計
- 電導率儀
- 鹽分計
- 檢測儀
- 監(jiān)測儀
- 色度計
- 分光輻射計
- 差壓計
- 壓力表
- 料位計
- 電平計
- 比重計
- 流速計
- 工業(yè)內(nèi)窺鏡
- 扭矩計
- 應力計
- 檢查器
- 檢針器
- 溫度計
- 摩擦計
- 放大鏡
- 粒度儀
- 篩分儀
- 試験機
- 測定儀
- 露點儀
- 電氣爐
- 轉(zhuǎn)速表
- 水分計
- 濃度計
- 流量計
- 物位計
- 測厚儀
- 硬度計
- 光纖測定器
- 水分活性測定
- 熱風計
- 數(shù)字照度計
- 風速計
- 實體顯微鏡
- 環(huán)境測定計
- 躁聲計
- 真空計
- 液位計
- 高斯計
- 控制閥
- 壓力計
- 噴嘴類
- 泵類
聯(lián)系我們
聯(lián)系人：林經(jīng)理
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
在線客服