中空型式精確定位工作臺(tái)直動(dòng)滑臺(tái)

中空型式精確定位工作臺(tái)直動(dòng)滑臺(tái)

壓電滑臺(tái)基本系列_中空型式壓電滑臺(tái)中間開口的產(chǎn)品系列，適用于正/背檢、雷射穿透，結(jié)合顯微鏡及分析設(shè)備或儀器進(jìn)行細(xì)微觀察、高精度測(cè)繪測(cè)量等。

從多軸薄型到大開口型提供適用于小型設(shè)備的多軸輕薄類型，和適合大尺寸面板的大開口類型。

進(jìn)行平滑且精確的掃描透過高精度的回授控制，可根據(jù)指令訊號(hào)實(shí)現(xiàn)高可靠性的操作。

產(chǎn)品有2種機(jī)構(gòu)類型：分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的「直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)」和較長(zhǎng)行程的「位移放大機(jī)構(gòu)」。

直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)

壓電滑臺(tái)基本系列_中空型式壓電滑臺(tái)中間開口的產(chǎn)品系列，適用于正/背檢、雷射穿透，結(jié)合顯微鏡及分析設(shè)備或儀器進(jìn)行細(xì)微觀察、高精度測(cè)繪測(cè)量等。

從多軸薄型到大開口型提供適用于小型設(shè)備的多軸輕薄類型，和適合大尺寸面板的大開口類型。

進(jìn)行平滑且精確的掃描透過高精度的回授控制，可根據(jù)指令訊號(hào)實(shí)現(xiàn)高可靠性的操作。

產(chǎn)品有2種機(jī)構(gòu)類型：分為共振頻率高、強(qiáng)調(diào)高速響應(yīng)的「直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)」和較長(zhǎng)行程的「位移放大機(jī)構(gòu)」。

直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)