精密氣體控制用快速響應型質量流量控制器

精密氣體控制用快速響應型質量流量控制器

1. 高精度控制：控制精度可達 ±1.0% 設定點，確保流量控制的準確性。
2. 快速響應：響應時間小于 1 秒，適用于動態過程控制。
3. 多通信協議支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協議，確保與不同系統的兼容性。
4. 多氣體/多量程功能：用戶可通過軟件更改氣體類型和滿量程設置，無需更換設備，提升靈活性。
5. 高可靠性設計：采用 316L 不銹鋼接液材質，適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容。
6. 支持多種通信模式：即數字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。
7. 高精度和高速響應：提供高精度（+/- 1.0% 設定點）和高速響應。

8. 多氣體/多量程功能：可降低制程成本。

1. 高精度控制：控制精度可達 ±1.0% 設定點，確保流量控制的準確性。
2. 快速響應：響應時間小于 1 秒，適用于動態過程控制

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3. 多通信協議支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協議，確保與不同系統的兼容性。
4. 多氣體/多量程功能：用戶可通過軟件更改氣體類型和滿量程設置，無需更換設備，提升靈活性。
5. 高可靠性設計：采用 316L 不銹鋼接液材質，適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容

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6. 支持多種通信模式：即數字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®

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7. 高精度和高速響應：提供高精度（+/- 1.0% 設定點）和高速響應

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8. 多氣體/多量程功能：可降低制程成本

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