日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵

使用例

• 濺射設備
• 氣相沉積設備
• 各種等離子設備
• 真空爐
• 各種真空測試設備

DRP系列陣容

* 1表示包括底座，電機等在內的設定值。
* 2用MacLeod真空計測量
* 3全
封閉式風扇電機* 4 IE3規格
* 5 CE規格（相當于IE1）
* 6可選

• [DRP-180YII]真空保持型

  

  

• [DRP-360YII]真空保持型

  

  電機符合相關法規（IE3）

  

• [DRP-360Ⅲ]自動泄漏型

  

  CE規格電機（IE1）

  

• [DRP-800]

  

  電機符合鼎級法規（IE3）

  

• [DRP-1500]

  

  電機符合相關法規（IE3）

  

*規格和建議零售價如有變更，恕不另行通知。

預防措施

• 我們的油旋轉真空泵是根據以下用途設計和制造的。
  （1）吸入氣體的種類空氣和惰性氣體（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Xe，Rn ? ? ?）
  （2）吸入氣體的溫度5-40 ℃ 
  （3）環境溫度5? 40°C 
  （4）常壓泵壓約1.3×10 ² Pa以下
  （5）其他真空和大氣重復的頻率低。切勿吸入水等液體。
    *如果條件與上述條件不同，請與我們聯系。

• 請注意，如果將標準規格的真空泵用于以下目的，將會縮短其使用壽命。
  （1）腐蝕性氣體（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₃，HBr···）
    [示例] 
      即使在特殊規格的真空泵中，也進行離子注入，蝕刻，CVD等操作，易燃，易揮發請勿吸入該物質。
  （2）排放大量水蒸氣，化學物質，溶劑，粉末等。
  （3）工作壓力為1.3 kPa以上時。
  （4）真空和大氣的頻率高時。
  （5）請勿吸入氨氣。

 日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵