用于半導(dǎo)體制造過程的多組分密度計(jì)介紹

多組分密度計(jì)的特點(diǎn)

3 個(gè)組件中的 2 個(gè)組件密度計(jì)側(cè)可以實(shí)時(shí)進(jìn)行

• 配備模擬DC 4至20mA（2系統(tǒng)）和數(shù)字RS232C作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備

• 標(biāo)配測量誤差輸出和報(bào)警輸出

• 標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示

• 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

• 由于使用 PFA 的接液部件的質(zhì)量和小輸出設(shè)計(jì)，對化學(xué)溶液沒有影響。

優(yōu)點(diǎn)

• 可進(jìn)行高精度連續(xù)測量

• 免維護(hù)，無需定期調(diào)整和校準(zhǔn)

• 安裝方便，安裝過程中無需進(jìn)行各種調(diào)整

• 通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋過程

用

• CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制等。

• 清洗過程中清洗液濃度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）

• 蝕刻工藝中蝕刻液濃度控制（TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等）