光學式膜厚計概述-朝日分光OMD-1000

什么是OMD-1000？

這是一臺光譜膜厚監測儀，用于監測在用單色光進行氣相沉積過程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設備中，并作為膜厚監測設備完成，該設備具有氣相沉積零件制造商的專有技術。 

概述

全波長范圍

在傳統型號中，波長選擇是濾光片類型，但是新產品結合了我們久經考驗的光譜儀，現在可以選擇任何波長。
膜厚變化的信號是從電壓輸出到與個人計算機兼容的數字輸出，控制機制是從手動操作到個人計算機的命令控制。此外，通過將薄膜厚度計主體通過I / F直接連接到個人計算機來控制其厚度成為可能，這是一個非常緊湊的系統，無需像其他制造商那樣的控制器。

特征

• 分光鏡設計緊湊
• 通過提高抗噪聲性（靜電放電測試耐受電壓±5 kV）實現高度可靠的膜厚度監控
• 可以通過PC的命令自動控制
• 通過將控制器合并到接收器主體中來實現高性價比

車身配置和接線

產品概要

它連接到氣相沉積設備上，以監控薄膜厚度。可以如右圖所示進行安裝。

反射型監視

透射式監控
（彎曲探照燈）

透射式監控
（直接連接到泛光燈）

商品構成

接收者

泛光燈

電源箱

高架法蘭
*包含在反光鏡盒中

反光鏡盒

透射鏡盒

■產品規格

*請注意，產品規格和外觀如有更改，恕不另行通知。